鈰基拋光材料中氧化鈰的顆粒度：顆粒度越大，磨削力越大，越適合較硬的材料，ZF玻璃應使用偏細的拋光粉。注意氧化鈰的粒度都存在分布問題，平均粒徑或中位徑D拋光速度的快慢只取決于50大小，粒徑較大Dmax它決定了拋光的高低。因此，鈰基拋光材料控制顆粒，才能獲得高精度要求。