鈰基拋光液主要由無機成分和其他有機成分組成，如氧化鐵、氧化鋯、氧化鉻、氧化鈰、氧化鋁和氧化硅。其懸浮和分散需要添加特定的分散劑或懸浮劑來解決分散不良的問題。如果鈰基拋光液的分散性不好，很容易導致大顆?；驊腋⌒圆?，影響拋光效果，嚴重損壞機器。